Чистые помещения в микроэлектронике

Наши услуги

Производство качественной высокоточной микроэлектронной продукции требует соблюдения установленных требований и стандартов, которые выдвигаются к планировке, отделке и очистке помещений.

Требования к чистым помещениям на предприятиях по производству высокоточных деталей

В процессе изготовления микросхем важно исключить все возможные загрязнения, так как не только мельчайшие частицы металлов и пыли, но и бактерии могут спровоцировать дефекты высокоточных деталей.

Для всех предприятий по производству микроэлектроники предусмотрены стандарты класса чистоты по нормативам ИСО 3, 4 и 5. Особое внимание следует уделить чистоте поступающего в производственную зону воздуха.

Проектирование и отделка чистых помещений для технологических процессов

Важная особенность чистых зон, которая обязательно учитывается еще на стадии проектирования:

  • однонаправленный поток воздуха;
  • три степени очистки поступающего воздуха.

Так как в процессе реорганизации или расширения производства возможна установка дополнительного оборудования, то проект должен позволять возможность реконструкции каждой производственной зоны с минимальными затратами.

Основные стандарты производственных зон в микроэлектронике

Для каждой стадии производственного процесса важно технически оснастить чистое помещение с учетом всех параметров выполняемых процессов:

  • при работе с открытыми пластинами (напыление, литография, травление) – требования класса А;
  • для обработки пластин и отмывки необходима установка очистки технических вод;
  • ионная имплантация и диффузия должны выполняться в зонах, конструкции и отделка которых не выделяет газообразных веществ;
  • системы автоматизированного контроля гарантируют необходимый микроклимат в каждом помещении.

В каждом отдельном случае необходимо ориентироваться на планировку, особенности производства, количество и сложность выполняемых процессов.

«ТехСтройКомплект» - чистые помещения для микроэлектроники «под ключ»

Предлагаем полный комплекс работ по строительству и оборудованию чистых зон на производствах микроэлектроники:

  • проектирование и строительство производственных площадей с выполнением профессиональной отделки, учитывающей все требования сложных производственных процессов;
  • чистый воздух обеспечивает установка трехступенчатой фильтрации и автоматизация контроля микроклимата;
  • обеспечение необходимой влажности и постоянной температуры производственной среды;
  • проработка конструктивных особенностей распределения жидкостей, исключающая перекрестное загрязнение материала;
  • герметичная система отвода газов.

Предлагаем организацию чистых помещений «под ключ» для любых видов производства по адекватной стоимости, оперативно, профессионально, с гарантией качества.