Чистым помещением или чистой комнатой называется помещение, в котором счетная концентрация взвешенных в воздухе частиц поддерживается в определенных пределах.
Основной характеристикой чистого помещения является его класс.
Класс чистого помещения характеризуется количеством максимально допустимой концентрации частиц в 1м3 воздуха.
Классификация чистых помещений по ГОСТ ИСО 14644-1
Класс чистоты
Максимально допустимые концентрации частиц, частиц/м3, с размерами, равными или большими следующих значений, мкм
0,1
0,2
0,3
0,5
1,0
5,0
1 ИСО
10
2
-
-
-
-
2 ИСО
100
24
10
4
-
-
3 ИСО
1000
237
102
35
8
-
4 ИСО
10000
2370
1020
352
83
-
5 ИСО
100000
23700
10200
3520
832
29
6 ИСО
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7 ИСО
-
-
-
352000
83200
2930
8 ИСО
-
-
-
3520000
832000
29300
9 ИСО
-
-
-
35200000
8320000
293000
Требования к чистоте обычно определяются техническими условиями, технологическими регламентами (процессами). Но для медицинской промышленности, требования к чистоте устанавливаются государственными нормами.
Наиболее строгие требования к чистоте воздуха в производственных помещениях предъявляет электронная промышленность, где степень чистоты воздуха прямо связана с процентом брака на производстве. Вслед за интенсивным развитием микро- и нанотехнологий ужесточаются и требования к чистым помещениям, в связи с уменьшением топологического элемента микросхем.